晶圆级磁光克尔测量仪
极向磁光克尔效应用于晶圆堆磁性检测，垂直2.5T磁场使MRAM薄膜堆栈多层翻转
极向磁光克尔效应,晶圆堆,磁性检测,非接触式测量,MRAM薄膜堆栈,垂直磁场,自由层,参考层,固定层,翻转
利用极向磁光克尔效应（MOKE）可快速全面检测晶圆堆磁性，其非接触式测量避免传统磁性表征对晶圆的损伤，适用于制模前后样品检测。当垂直磁场达2.5T时，垂直各向异性磁随机存取存储器（MRAM）薄膜堆栈的自由层、参考层和固定层会发生翻转，为相关研究和生产提供重要依据。
